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2023年6月29日，全球最大規(guī)模半導(dǎo)體年度盛會SEMICON CHINA在上海新國際博覽中心召開。至純科技（603690）攜濕法設(shè)備、工藝支持設(shè)備和整體解決方案重裝亮相。

創(chuàng)新，點燃發(fā)展芯動力

集成電路產(chǎn)業(yè)是引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量，至純科技立足以客戶為本，體系布局集成電路工藝設(shè)備，匯聚行業(yè)人才提升自主創(chuàng)新能力，實現(xiàn)關(guān)鍵工藝機臺自主研發(fā)，并支持培育在地上游合作商以達供應(yīng)鏈自主。目前，公司濕法設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)28nm節(jié)點全部工藝的機臺研制并取得訂單，同時公司在更先進制程節(jié)點的機臺開發(fā)進展順利且獲得部分工藝訂單并交付中。公司的工藝氣體、化學(xué)品、前驅(qū)體和研磨介質(zhì)等工藝支持設(shè)備也在國內(nèi)新建12寸FAB中以萬臺單位出貨中，這些設(shè)備和工藝機臺的腔體連成一個整體，實現(xiàn)各種干濕工藝?？粗蛔鵉AB里布滿PNC的設(shè)備，滿滿的自豪感。

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